输入光束

飞秒、皮秒激光，线偏振

输出光束数量

可达100束

分光能量利用率

70%-90%

能量一致性

98%以上

分束光斑圆度

多光束模块的硬件经过校准和补偿

分束范围

直径0.72 mm范围（@F20聚焦物镜）

直径3.64 mm范围（@F100场镜）

直径7.64 mm范围（@F210场镜）

分束间距

在分束范围内可调

8 – 720 μm（@F20聚焦物镜）

50 – 3600 μm（@F100场镜）

相位稳定性

0.01πrad (RMS) max. （@240Hz）

0.05πrad (RMS) max. （@120Hz）

极限分光角

2.09°（全角）

LCOS分辨率

792 x 600 pixels

1272 x 1024 pixels

光斑图案设计

能够实时更改多个光束的位置、数量

软件功能

可调整多光束空间位置；

系统集成光束轮廓仪，具备多光束能量分布的测量功能；

集成循环迭代反馈算法功能，多光束能量均匀性98%以上；

能够实时显示多光束的能量均匀性；

具备二维多光束能量分布的测量与反馈功能；

具备相位误差校正功能；

波长范围

IR：1000 – 1100 nm

Green：460 – 560 nm

最大单脉冲能量

30mJ@IR

最大激光功率

160W@IR，15ps，水冷

输入光斑直径

不超过10mm

输出光斑直径

10mm，可定制

图案切换频率

最大25Hz

尺寸

300mm x 600mm x 200mm

温度

+10～+40°C

相对湿度

10% ~ 80%（无结露）